1. Z6尊龙凯时

        인라인 튜브식 PECVD 로딩&언로딩기
        제품 정보：
        인라인 튜브식 PECVD 로딩/언로딩기는 실리콘 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 PECVD 흑연 보트로, 또는 PECVD 흑연 보트에서 실리콘 웨이퍼 캐리어로 자동 적재하는 설비입니다.
        제품 장점：
        1. 속도: 6000pcs/h;
        2. 매우 낮은 파손률: ≤0.03%;
        3. PL 스테이션 미리 남겨두어 에어리어 스캔 및 라인 스캔 AOI 카메라와 호환 가능;
        4. Softtouch 다자인 컨셉으로 실리콘 웨이퍼 파편률 낮춤;
        자동 적재
        낮은 파손률
        높은 생산능력